플라즈마 장비 개발 `붐`
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작성일 23-03-22 23:37
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플라즈마 장비 개발 `붐`
사진; 에스이플라즈마에서 개발한 대면적 LCD용 대기압 플라즈마 세정장비. 대기압 플라즈마 기술을 응용, 별도의 진공장치가 필요하지 않고 별도의 화학유제가 필요하지 않아 environment(환경) 친화적이며 장비의 운용 및 유지보수 비용이 절감되는 것이 특징이다.
이 회사가 개발한 플라즈마 장비는 진공 장치를 따로 설치해야 하는 기존 저온 플라즈마가 아니라 대기압에서 모든 공정이 진행돼 시스템의 제작, 유지, 보수비용을 대폭 절감시키는 effect가 있다.
설명
다.
주성엔지니어링(대표 황철주 http://www.jseng.com)은 초단파 병렬 공명안테나를 장착한 플라즈마 식각장비를 개발하고 특허도 취득했다.
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에스이플라즈마(대표 이상로 http://www.seplasma.com)는 국내 최초로 LCD, PDP, 유기EL 등 디스플레이 기판 유리 표면을 세정할 수 있는 대기압 플라즈마 장비를 개발했다.
25일 관련 업계에 따르면 저온 및 대기압 플라즈마를 응용한 제조 공정이 반도체, 디스플레이 분야에서 자동차, 항공, 의료, environment(환경) 까지 응용됨에 따라 관련 업체들이 플라즈마 공정을 응용한 장비 및 부품 개발에 열을 올리고 있다.
이 회사 이영곤 전무는 “현재 신뢰도 확보와 장비관련 데이터를 해석하고 있으며 모 소자업체에 이미 공급, 최종 테스트 작업 중”이라며 “결과가 나오는 대로 본격 사업화에 착수할 것”이라고 말했다.
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<손재권기자 gjack@etnews.co.kr>
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아이티엠파워(대표 김윤택 http://www.itminc.co.kr)는 LCD 세정 장비용 플라즈마 전원장치를 개발, 현재 장비 업체에 공급하고 있으며 차세대 장비도 소자 업체와 공동개발 중이다. 플라즈마 소스와 관련한 기술력이 부족한 국내업계도 플라즈마를 응용한 식각 및 증착장비의 국산화에 나서고 있다.
이상로 사장은 “약 20억원을 투입, 세계 최초로 기판손상을 해결한 1200mm급 LCD 글라스 세정장비를 개발, 국내 L사와 공급계약을 체결했고 폴리머, 세라믹 등 재료 표면처리 장비도 개발 완료단계에 있다”며 “플라즈마 장비 국산화에 크게 기여할 수 있을 것으로 기대한다”고 말했다.
이에 대해 성대플라즈마응용표면기술연구센터의 배운현 실장은 “국내 장비업계는 독자적인 플라즈마 소스 기술이 없으며 몇 업체를 제외하고 독자 연구설비 및 인력이 부족, 선진국 수준을 따라가기에는 어려움이 있다”며 “그러나 관련 연구가 활발한 만큼 개발 속도는 빨라질 것으로 예상한다”고 말했다.
